氫氧化四甲銨(Tetramethylammonium Hydroxide/TMAH)
CAS編號: CAS : 75-59-2
品名 : 氫氧化四甲銨(Tetramethylammonium Hydroxide/TMAH)
等級 : 工業級
包裝 : 200KG
產地 : 中國
四甲基氫氧化銨(TMAH或TMAOH)是一種分子式為 N(CH3)4+ OH− 的季銨鹼,也是這類化合物中最簡單的一種。這種物質只在五水合物時是一種相對穩定的固體形態。商業上,TMAH通常以水溶液、甲醇溶液或五水合物的形式銷售。其固體和溶液均為無色,不純時為黃色。純淨的TMAH幾乎沒有氣味,但樣品常有強烈的魚腥味,因其含有三甲胺的不純物。TMAH有大量、廣泛的工業和科研用途,例如在半導體器件製造中的黃光製程中當顯影液(去光阻液)。
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